专业用于测量仪器在测量的时候进行标准化校准，仪器校准后方可测量，得到准确的数值，对于PCB，五金电镀，2次元，3次元，显微镜，贴片机等测量，定位仪器起到很重要的作用。

三次元校正标定板技术规格

尺寸：550*450mm ，540*420mm

厚度：4.8mm , 3.0mm

光刻板基材：Quartz;Soda Lime

最小线宽：1.0um

接触孔：1.5*1.5um

Cd公差:正负0.1um

均一性（范围）：0.12um

套刻精度：0.12um

缺陷大小：0.8um

缺陷密度：0.6DPSI