表面粗糙度测量仪是用于量化评定工件表面微观几何形状误差(粗糙度)的精密仪器,广泛应用于机械制造、精密加工、汽车、轴承、模具、半导体、光学元件及3C电子等领域。其核心价值在于精准量化表面微观形貌,以保障产品性能与寿命。下面,
二手三次元供应小编详细介绍一下

表面粗糙度测量仪主要分为接触式与非接触式两大类:
接触式(触针式)
原理:通过金刚石触针(针尖曲率半径通常为2-10μm)以恒定压力划过工件表面,触针随表面微观峰谷起伏产生垂直位移,位移信号经传感器(电感式、压电式等)转换为电信号,再经放大、滤波、积分计算后输出粗糙度参数(如Ra、Rz)。
特点:
测量范围通常为0.02-10μm,精度可达纳米级,适用于平面、圆柱面等规则表面。
存在划伤软材质表面、测量效率低等局限。
非接触式(光学式)
原理:利用光学干涉、激光共聚焦等原理,通过分析反射光或干涉条纹的变形解析表面三维形貌,进而计算粗糙度参数。
特点:
垂直分辨率可达亚纳米级(如0.1nm),适用于超光滑表面(如光学镜片、半导体晶圆)及易损材料。
测量范围覆盖从超光滑(0.1nm)到相对粗糙(1mm)的表面。