1， 主机机械系统（X、Y、Z三轴或其它）；
2，测头系统；
3， 电气控制硬件系统；
4， 二手三次元供应商数据处理软件系统（测量软件）；
5， 二手三次元供应商正向工程：产品设计-->制造-->检验（三次元测量仪）
大部份三次元机台结构都使用精密花岗石做为平台，较好的机台会使用00级以上的花岗石。三轴的结构大部份都使用花岗石，有些机型会使用铝合金或铸铁，较高阶的机种会使用碳纤、陶瓷或其它复合材质。常见的外型结构为龙门式(或称移动桥架式)，其他较常见的有单边架桥式(或称L桥架式)、双边架桥式、悬臂式等。