每季度对仪器进行一次保养服务 
各轴活动部份之检查调整。 
仪器水平及气垫防震系统之检查调整。 
Z轴平衡系统之检查调整。 
光学系统之检查(光学尺) 。 
探测系统之检查。 
计算机系统及接口器之检查(不包括计算机系统之检修)。 
各轴实际量测。 
仪器线路老化或接触不良检查