1、 X向横梁：采用精密斜梁技术
2、Y向导轨：采用独特的直接加工在工作台上的整体下燕尾槽定位结构
3、导轨方式：采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的四面环抱式静压气浮导轨 4、驱动系统：采用本产高性能DC直流伺服电机、柔性同步齿形带传动装置，各轴均有限位和电子控制，传动更快捷、运动性能更佳 5、Z向主轴：可调节的气动平衡装置，提高了Z轴的定位精度
6、控制系统：采用进口的双计算机三座标专用控制系统 
7、机器系统：采用计算机辅助3D误差修正技术（CAA），保证系统的长期的稳定性和高精度。 8、测量软件：采用功能强大的3D-DMIS测量软件包，具有完善的测量功能和联机功能。编辑本段功能原理