几十年来，三坐标丈量仪在工业界仅是很少人知道的。自从60年代起，因为电子、计算机及传感器等技能的开展，三坐标丈量仪的功能及运用，也改进了很多，使制作工业能够到达高质量及多功能等丈量需求。因此质量管理部门能够对工件的尺寸、几许形状及概括等丈量到达迅速且。
1921—1930年代间，因为丈量显微镜及东西显微镜无法做Z轴方向的丈量。1940年首要推出以肉眼来读规范尺及显微镜的对比丈量方法的三坐标测长仪。1950至1960年间才真实制作出三坐标丈量机，但仍沿袭肉眼读出方法，因此需用娴熟的技能人员来操作方能达到。1960年后，英国工程实验所及物理实验所一起研究出运用线性光栅式及莫瑞条纹来编码，这就是所用三坐标丈量仪数值读出方法，现在各轴移动小读数可达0.001mm，然后再合作计算机运用。因为计算机软件的设计为攀谈式，故在运用上十分便利，因此三坐标丈量仪的运用，已为现代工业丈量不可或缺的.