三次元校正为你介绍以下内容：
1、X、Z 轴皆采用精密陶瓷材质,特性如下: 
(1)杨氏系数高，所以刚性强，不易变形，可以保持 X、Z 轴直线度。
(2)低膨胀系数，可以减少热传导产生的结构扭曲，提高量测精度。
(3)重量轻，可降低动态的惯性，增加量测速度，保持三轴直角度。
(4)硬度高，不易扭曲变形，可长久保持 X，Z 直线度，直角度。

2、采用 ZEISS 预载式空气轴承，可使龙门与平台间隙保持4-6μm，维持高精度量测。

3、Y 轴采包覆式空气轴承，可降低动态量测惯性，提高三轴直角度。
 
4、Z 轴采免调整盒型空气轴承，气源不足时，Z 轴具自动锁定功能。

5、气囊式探头重量平衡系统。

6、摇控操作盘采双轴同动操控，并具可逆键，操作简便快速。
 
7、采用ZEISS专利光学尺，分辨率 0.2μm