轮廓形状测量仪(简称轮廓仪)是一种用于精确测量物体表面轮廓、形状参数(如直线度、圆度、粗糙度、坡度等)的精密仪器,通过非接触或接触式测量方式,将被测轮廓转化为数字信号,再经软件分析生成轮廓曲线及参数报告,广泛应用于机械制造、汽车、航空航天、精密模具等对形状精度要求极高的领域。下面,
测量仪器回收小编介绍一下使用轮廓形状测量仪的分类:

接触式轮廓仪
原理:通过金刚石测针(针尖半径通常 2μm、5μm、10μm)与被测表面直接接触,轮廓的微小起伏推动测针移动,带动内部差动变压器或光栅传感器产生信号。
优势:测量精度高(分辨率可达 0.001μm),不受表面反光、颜色影响,适合金属、陶瓷等硬质地表;
局限性:测针可能划伤软质表面(如塑料、橡胶),测量速度较慢(扫描速度通常≤50mm/s),测针磨损需定期校准。
典型应用:精密刀具刃口轮廓、轴承滚道圆度、机械零件的直线度测量。
非接触式轮廓仪
激光轮廓仪:
原理:通过激光束(如线激光)投射到被测表面,反射光经 CCD 相机接收,利用三角测量法计算轮廓高度(精度可达 0.1μm)。
优势:无接触、速度快(扫描速度可达 1000mm/s),适合软质、易变形表面(如薄膜、橡胶)和高速在线检测;
局限性:受表面粗糙度、反光率影响大(如镜面易反光导致误差),环境光干扰需控制。
白光干涉轮廓仪:
原理:利用白光干涉条纹的相位变化测量轮廓,分辨率可达纳米级(0.1nm),适合超精密表面(如光学镜片、半导体晶圆)。
优势:超高精度,可测表面粗糙度 Ra≤0.01nm;
局限性:测量范围小(通常≤1mm),对环境振动、温度敏感(需恒温防震)。