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三丰三次元校正测量设备的测量水平

文章出处:新闻中心 责任编辑:东莞市建乔仪器设备有限公司 发表时间:2012-09-08
  三丰三次元校正测量设备的测量水平

 通常测试图形的3-D结构,是意味着三丰三次元校正仪器测量结果,结果不仅要包括线宽,还要有三丰三次元校正仪器的相应形貌数据。这对三丰三次元校正仪器的灵活度和其硬件的灵敏度都有不小的挑战。现在的市场不仅重视三丰三次元校正仪器的传统的CD-SEM投入,也在逐步增强对S/TEM以及TEM的投入。而研发的新一代三丰三次元校正仪器的SEM技术,将具有更高的分辨率,而且我们在增加三丰三次元校正仪器的性能同时,还要加强它的分析能力和测量能力。

 所谓的CD-SEM,指的是主流测量技术Applied Materials的SEM测量设备产品,这是目前三丰三次元校正仪器的CD-SEM主流测量技术,能够长时间在生产线上稳定工作,这项三丰三次元校正仪器的新技术将发挥着举足轻重的作用,也使三丰三次元校正仪器的CD-SEM具有更大的优势。 而三丰三次元校正测量设备技术大规模应用的第二个挑战是:制备样品。

  对于三丰三次元校正仪器的CD-SEM以及传统的三丰三次元校正仪SEM来说,制备样品的流程比较简单。随之就出现大量的问题,就是:怎样才能迅速的制备样品、进行高效测量。但这样的问题,在技术上来说并不是什么问题,但需要在现有的成本后面加一到两个零;在某些情况下,新一代的自动化聚焦离子束分析技术(FIB)能够有效地降低三丰三次元校正仪器的S/TEM制样成本,进而达到与传统分析SEM相近的水平。

 





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