S/TEM三丰三次元维修技术大规模应用的另一个挑战是制备样品。对于CD-SEM或者传统的分析SEM而言，制备样品的流程较为简单。然而，当必须使用S/TEM或TEM等复杂测量技术时，样品制备的成本是十分惊人的。随之而来的问题是怎样才能迅速的制备样品、进行高效测量。
　　三丰三次元维修在技术上，这不是问题，但需要在现有的成本后面加一到两个零。在某些情况下，新一代的自动化聚焦离子束分析技术（FIB）能够有效地降低S/TEM的制样成本，进而达到与传统分析SEM相近的水平。
　　三丰三次元维修厂家简述到CD-SEM仍然是主流测量技术Applied Materials的SEM测量设备产品经理Ram Peltino 指出目前CD-SEM仍然是半导体生产厂家的主流测量技术，由于其已经证明了能够可靠的测量2X和1Xnm的结构，且能够长期在生产线上稳定的工作，所以在32nm乃至更为细小的技术节点，这项技术仍将发挥着举足轻重的作用。Peltinov进一步表示在32nm节点，相对于光学测量技术而言，CD-SEM具有更大的优势。





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